В монографии впервые дано систематическое изложение современного состояния исследований модифицирования полупроводников пучками протонов. Выполнен анализ общих феноменологических закономерностей взаимодействия легких ионов с монокристаллическими полупроводниками. Проведено концептуальное обобщение результатов фундаментальных исследований, полученных в течение последнего времени по основным направлениям радиационного модифицирования полупроводников пучками протонов: трансмутационному ядерному легированию, радиационно-стимулированной диффузии, легированию радиационными дефектами, формированию наноразмерных пористых слоев.
Для специалистов в области физики взаимодействия излучения с веществом и радиационной физики твердого тела, студентов физических и физико-технических специальностей.
