Научно-образовательный центр по направлению "Нанотехнологии" Южного федерального университета

 


В 2006-2008 г.г. для НОЦ НТ ЮФУ закуплено уникальное оборудование на сумму 479,3 млн.руб.

Область деятельности
• наноматерилы
• наноэлектроника
• наносистемная техника
• производственные нанотехнологии
• биомедицинские нанотехнологии
• нанодиагностика
• нанохимия
• нанофизика

Научные интересы
• элементная база наноэлектроники и молекулярной электроники
• элементная база квантовых клеточных структур и квантовых компьютеров
• приборно-технологическое моделирование в наноэлектронике
• исследование энергетического строения наногетероструктур
• методы контроля электрофизических свойств наногетероструктур
• планарные технологии с нанометровым разрешением
• технологии формирования трехмерных наноструктур
• зондовые нанотехнологии
• фотонно-стимулированные процессы формирования наноструктур
• микро- и наноаналитические системы состава жидких и газовых сред
• микро- и нанооптикомеханические системы преобразования физических величин
• датчики на основе наноструктурированных материалов и др.

Основными задачами НОЦ НТ являются:
• учебная и учебно-методическая деятельность;
• проведение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ;
• целевая подготовка и переподготовка специалистов для народного хозяйства, подготовка кадров высшей квалификации;
• внедренческая деятельность по производству и реализации наукоемкой продукции.

Структура НОЦ НТ ЮФУ включает в себя следующие лаборатории:
• лаборатория кластерных технологий (гермозона 1 - многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ);
• лаборатория элионных нанотехнологий;
• лаборатория зондовых нанотехнологий;
• лаборатория наноматериалов;
• технологическая гермозона 2 (технологии микро- и наномеханики);
• лаборатория микро- и наносистем;
• лаборатория моделирования нанотехнологий и САПР;
• лаборатория нанодиагностики;
• центр лазерных технологий;
• лаборатория оптоэлектроники и нанооптики.

Основные результаты:
• основы технологии формирования планарных и трехмерных наноструктур
• технология формирования каталитических центров для выращивания углеродных нанотрубок
• фотонностимулированная технология формирования структур металлической наноэлектроники
• теория, принципы построения, модели, методы и средства моделирования элементов наноэлектроники с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда в системе связанных квантовых областей, характеризующихся субпикосекундными задержками переключения
• теория, принципы построения, модели, методы и средства моделирования интегральных инжекционных лазеров на основе наногетероструктур с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда, обеспечивающих амплитудную модуляцию излучения сигналами терагерцового диапазона для телекоммуникационных и вычислительных систем, средств связи, высокочувствительных систем медицинской диагностики, систем регистрации и анализа быстропротекающих физических процессов
• принципы построения и теория трехосевых наномеханических сенсоров параметров движения объектов
• методы и программные средства проектирования быстродействующих статических ОЗУ на основе наноразмерных элементов и др.

Основное оборудование НОЦ НТ:
• комплекс НАНОФАБ НТК-9 фирмы NT-MDT, включающий модули: СЗМ, ФИП для создания 3D структур, ФИП с системой газовых инжекторов, ФИП локальной имплантации, лазерной абляции, ГФХО для осаждения углеродных нанотрубок, молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs и твердых растворов на его основе, отжига образцов;
• электронный микроскоп Nova NanoLab 600 фирмы FEI, включающий систему электронной литографии ELPHY, систему микроанализа EDS, систему газовой химии для осаждения и травления материалов;
• комплект оборудования для исследований зондовыми методами: СЗМ Solver P47Pro, нанолаборатория Ntegra Vita, учебные СЗМ NanoEducator;
• Комплект оборудования для технологий микро- и наномеханики: установки плазмохимического осаждения в индуктивно-связанной плазме STE ICPd 47 и STE ICPe 45, установка плазмохимического осаждения poly-Si VISION 310PECVD, установка плазмохимического травления в кислородной плазме YES-CV200RFS, установка электронно-лучевого и магнетронного напыления AUTO500, установка термического отжига STE ThA 49 LC, установка совмещения и экспонирования MJB4, центрифуга для нанесения резистов WS-400E-NPP, центрифуга для сушки образцов WS-400E-6NPP, плитка для сушки резистов HP-401-250, плитка для сушки образцов HP-160-250, шкаф химический для химико-динамического травления, печь диффузионная PEO-604, зондовая станция ЭМ6070А, измерительный комплекс Keithley 4200-SCS, установка для измерения ЭДС Холла Ecopia HMS-3000/1T, зонд для полуизолирующих подложек LEI 2017B, установка бесконтактного измерения удельного сопротивления LEI 1510m40 и др.


Сайт Центра: http://nanotech.sfedu.ru